图书介绍

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集成电路A
  • (日)荒井英辅 著
  • 出版社: 北京:科学出版社
  • ISBN:7030036042
  • 出版时间:2000
  • 标注页数:142页
  • 文件大小:10MB
  • 文件页数:159页
  • 主题词:

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图书目录

1 集成电路的学习方法1

1.1 集成电路的发明2

1.2 集成电路发展的动力4

1.3 集成电路的未来6

1.4 本书的构成7

篇外话8

集成电路专利和日本的半导体工业8

引用文献10

练习题10

2 集成电路中的半导体器件12

2.1 pn结12

2.2 双极型晶体管18

2.3 MOS晶体管25

2.4 集成电路中的无源元件36

练习题38

固体器件的发明38

引用文献39

3 集成电路的基础工艺42

3.1 采用硅单晶制造集成电路的理由42

3.2 氧化、扩散及离子注入技术43

3.3 形成精细图形的光刻技术54

3.4 腐蚀技术58

同步辐射(SOR)X线光刻技术59

3.5 薄膜淀积技术61

练习题65

引用文献65

4 集成电路的制造工艺68

4.1 集成电路的基本结构68

4.2 双极型集成电路的制造72

4.3 MOS集成电路的制造79

4.4 多层布线85

工艺的低温化89

练习题89

5.1 数字集成电路的基本电路92

5 数字集成电路的基本电路92

逻辑门电路的噪声容限93

5.2 CMOS集成电路的基本电路100

5.3 集成电路掩模的设计109

练习题113

引用文献113

6 工艺、器件及电路的模拟技术116

6.1 假想工厂116

6.2 制造工艺的模拟116

像素模式(pixel model)121

6.3 器件电特性的模拟123

6.4 基本电路特性的模拟127

6.5 模拟结果和实际的差异133

练习题133

引用文献134

练习题解答135

参考文献141

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