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![集成电路A](https://www.shukui.net/cover/45/31175310.jpg)
- (日)荒井英辅 著
- 出版社: 北京:科学出版社
- ISBN:7030036042
- 出版时间:2000
- 标注页数:142页
- 文件大小:10MB
- 文件页数:159页
- 主题词:
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图书目录
1 集成电路的学习方法1
1.1 集成电路的发明2
1.2 集成电路发展的动力4
1.3 集成电路的未来6
1.4 本书的构成7
篇外话8
集成电路专利和日本的半导体工业8
引用文献10
练习题10
2 集成电路中的半导体器件12
2.1 pn结12
2.2 双极型晶体管18
2.3 MOS晶体管25
2.4 集成电路中的无源元件36
练习题38
固体器件的发明38
引用文献39
3 集成电路的基础工艺42
3.1 采用硅单晶制造集成电路的理由42
3.2 氧化、扩散及离子注入技术43
3.3 形成精细图形的光刻技术54
3.4 腐蚀技术58
同步辐射(SOR)X线光刻技术59
3.5 薄膜淀积技术61
练习题65
引用文献65
4 集成电路的制造工艺68
4.1 集成电路的基本结构68
4.2 双极型集成电路的制造72
4.3 MOS集成电路的制造79
4.4 多层布线85
工艺的低温化89
练习题89
5.1 数字集成电路的基本电路92
5 数字集成电路的基本电路92
逻辑门电路的噪声容限93
5.2 CMOS集成电路的基本电路100
5.3 集成电路掩模的设计109
练习题113
引用文献113
6 工艺、器件及电路的模拟技术116
6.1 假想工厂116
6.2 制造工艺的模拟116
像素模式(pixel model)121
6.3 器件电特性的模拟123
6.4 基本电路特性的模拟127
6.5 模拟结果和实际的差异133
练习题133
引用文献134
练习题解答135
参考文献141