图书介绍
半导体表面钝化 专题文摘PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 中国科学技术情报研究所重庆分所编辑 著
- 出版社： 北京：科学技术文献出版社；重庆分社
- ISBN：15176·320
- 出版时间：1978
- 标注页数：61页
- 文件大小：8MB
- 文件页数：63页
- 主题词：
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图书目录
一、述评和文献目录1
二、钝化1
目录1
三、钝化机理5
四、制备方法14
1．化学汽相淀积（CVD）14
2．热氧化24
3．溅射和蒸发27
5．阳极氧化29
5．磷硅玻璃31
6．其他方法35
1．电学性质38
五、特性38
2．表面态42
3．界面性质47
4．辐射效应51
5．C-V和Ⅰ-V特性52
6．其它性质54
六、测量55
1．电参数55
2．结构和缺陷57
3．厚度58
4．沾污和杂质58
5．应力61