图书介绍
半导体的检测与分析 第2版PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 许振嘉主编 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：7030194624
- 出版时间：2007
- 标注页数：635页
- 文件大小：55MB
- 文件页数：643页
- 主题词：半导体材料－检测－分析
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图书目录
第1章 引论1
1.1 科学内容2
1.2 实验技术14
1.3 展望26
参考文献26
第2章 半导体晶体的高分辨X射线衍射28
2.1 引言28
2.2 半导体晶体结构与结构缺陷30
2.3 X射线平面波的衍射66
2.4 高分辨X射线衍射的限束89
2.5 异质外延多层膜的X射线双晶衍射100
2.6 三轴衍射126
2.7 晶格参数的精确测量142
2.8 镶嵌结构的测量152
2.9 镜面反射与面内掠入射166
参考文献179
附录183
第3章 光学性质检测分析195
3.1 引言195
3.2 半导体光致发光201
3.3 半导体的阴极荧光245
3.4 吸收光谱及与其相关的薄膜光谱测量方法254
3.5 拉曼散射290
参考文献317
第4章 表面和薄膜成分分析323
4.1 引言323
4.2 俄歇电子能谱325
4.3 X射线光电子谱361
4.4 二次离子质谱392
4.5 卢瑟福背散射409
参考文献425
附录428
第5章 扫描探针显微学在半导体中的运用436
5.1 引言436
5.2 扫描隧道显微镜的基本原理444
5.3 用STM分析表面结构449
5.4 扫描隧道谱460
5.5 弹道电子发射显微镜467
5.6 原子力显微镜473
5.7 原子力显微镜用于表面分析482
5.8 扫描电容显微镜490
5.9 静电力显微镜498
5.10 磁力显微镜504
5.11 扫描近场光学显微镜509
5.12 原子操纵与纳米加工517
参考文献523
第6章 透射电子显微学及其在半导体研究中的应用525
6.1 引言525
6.2 透射电子显微镜的基本构造及工作原理525
6.3 显微像衬度531
6.4 其他技术541
6.5 应用实例551
6.6 结语572
参考文献572
附录575
第7章 半导体深中心的表征581
7.1 深能级瞬态谱技术581
参考文献612
7.2 热激电流614
参考文献634