图书介绍
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- 石庚辰，郝一龙编 著
- 出版社： 电力出版社
- ISBN：7508343840
- 出版时间：2006
- 标注页数：268页
- 文件大小：38MB
- 文件页数：275页
- 主题词：微电机－高等学校－教材
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图书目录
1 微机电系统概述1
1.1 微机电系统技术的基本概念及特点1
1.2 微机电系统的研究领域3
1.3 微机电系统采用的材料5
1.4 主要工艺技术6
1.5 微机电系统技术的发展6
1.6 微机电系统的应用前景8
参考文献10
2 微机电系统的材料11
2.1 概述11
2.2 硅12
2.3 陶瓷15
2.4 金属17
2.5 凝胶20
2.6 电流变体（Electro-rheological fluids,ERF）22
2.7 磁流变体（Magneto-rheologicalfluids,MRF）23
参考文献25
3 硅集成电路工艺基础26
3.1 薄膜生长26
3.2 光刻42
3.3 薄膜刻蚀52
参考文献59
4 MEMS加工技术61
4.1 硅的湿法腐蚀62
4.2 硅的深刻蚀技术68
4.3 键合与双面光刻技术71
4.4 集成工艺75
4.5 其他工艺技术81
参考文献86
5 微机电系统的设计方法学88
5.1 MEMS设计概述88
5.2 MEMS系统级设计91
5.3 MEMS器件级设计95
5.4 MEMS工艺设计106
5.5 版图设计113
5.6 IMEE系统及其设计实例116
参考文献130
6 微机电系统的组成132
6.1 微机械传感器132
6.2 微驱动器157
6.3 微能源174
参考文献183
7 微机电系统检测技术186
7.1 概述186
7.2 微几何量测量187
7.3 微机械材料特性检测198
参考文献220
8 微机电系统的应用222
8.1 微机电系统在医学中的应用222
8.2 微机电系统在汽车中的应用232
8.3 微机电系统在信息技术中的应用236
8.4 微机电系统在军事领域中的应用247
参考文献266