图书介绍
纳米制造PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 何丹农编著 著
- 出版社： 上海：华东理工大学出版社
- ISBN：9787562831648
- 出版时间：2011
- 标注页数：160页
- 文件大小：50MB
- 文件页数：169页
- 主题词：纳米技术
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图书目录
第1章 综述1
1.1纳米技术的背景1
1.1.1纳米科技的历史1
1.1.2纳米技术的定义1
1.1.3纳米材料的种类2
1.2纳米制造的背景3
1.2.1制造的定义3
1.2.2精密工程的定义4
1.2.3微制造与微加工4
1.2.4纳米制造和纳米机械加工4
参考文献5
第2章 纳米制造的加工原理7
2.1基于物理原理的纳米制造7
2.1.1高能球磨法7
2.1.2惰性气体冷凝法8
2.1.3非晶晶化法9
2.1.4大塑性变形法10
2.1.5物理气相沉积法11
2.1.6纳米技术的物理/机械应用14
2.2基于化学原理的纳米制造14
2.2.1气相沉积法15
2.2.2沉淀法18
2.2.3水热合成法18
2.2.4溶胶-凝胶法19
2.2.5电沉积法19
2.2.6化学镀法20
2.2.7微乳液法20
2.2.8纳米技术在化学中的应用21
2.3基于生物原理的纳米制造22
2.3.1基于生物原理的纳米技术22
2.3.2基于生物原理的纳米制造应用实例25
参考文献27
第3章 纳米制造的加工技术30
3.1“自上而下”的方式30
3.1.1定型机械纳米加工30
3.1.2磨粒纳米加工32
3.1.3非机械纳米加工33
3.1.4光刻加工33
3.1.5生物纳米加工39
3.2“自下而上”的方式40
3.2.1以自组装为媒介的图形制作和传递40
3.2.2生物分子自组装44
3.2.3利用力场的自组装46
3.2.4探针纳米加工49
3.2.5蘸水笔纳米加工50
3.2.6生物模板法合成52
3.3纳米制造加工技术实例——纳米压印技术56
3.3.1纳米压印技术原理56
3.3.2纳米压印工艺57
3.3.3纳米压印的应用64
3.4纳米制造加工技术实例——超光滑表面制造68
3.4.1超光滑表面加工概述68
3.4.2超光滑表面制造工艺69
3.4.3超光滑表面加工的挑战75
参考文献75
第4章 纳米制造的封装与装配技术80
4.1封装概述80
4.1.1发展历史80
4.1.2封装的分类及常见形式81
4.2封装的互连技术90
4.2.1引线键合90
4.2.2倒装芯片94
4.3 BGA和CSP封装102
4.3.1 BGA封装102
4.3.2 CSP封装104
4.4 MCM封装108
4.4.1 MCM的特点108
4.4.2 MCM的分类110
4.4.3 3D-MCM112
4.5 3D-TSV封装114
4.5.1 3D封装的发展114
4.5.2 3D-TSV的特点116
4.5.3 3D-TSV的关键技术117
4.5.4 3D-TSV的挑战127
参考文献128
第5章 纳米电子器件131
5.1纳机电系统131
5.1.1纳机电系统关键特性131
5.1.2纳机电系统的基础理论与关键技术133
5.1.3纳机电系统的应用135
5.2纳米CMOS器件136
5.2.1纳米CMOS器件面临的挑战136
5.2.2纳米CMOS器件新物理效应137
5.2.3纳米CMOS器件的栅技术139
参考文献142
附录A实验手册144
实验一 应用AFM测量接触模式下的力曲线144
实验二 纳米压印实验146
实验三 化学机械抛光149
实验四 原子层沉积实验152
附录B关键词中英文对照156