图书介绍
大规模集成电路制造与测试设备 译文集PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 上海市光学仪器工业公司，上海光学仪器研究所 著
- 出版社：
- ISBN：
- 出版时间：未知
- 标注页数：126页
- 文件大小：8MB
- 文件页数：129页
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图书目录
目录1
χ射线光刻1
χ射线曝光装置11
Nikon接近式光刻机18
大规模集成电路中的光刻技术——紫外线曝光及电子束曝光26
带有定位微调装置的χ射线曝光系统43
电子束曝光系统的自动对准48
掩模对准装置56
一种新的干涉对准技术62
用新的干涉方法对准χ射线印刻掩模——实验结果65
原图形发生器——机械设计68
数显定位机械工作台76
用各种简单相位光栅实现多重成象81
用空间滤波法排除周期性图象上的非周期性结构94
光掩模修整用加工技术97
用于检查集成电路引线图形的自动光学装置102
光学和半导体元件的表面检验114
双焦平面显微镜118
显微物镜的简单双焦元件123
人物介绍——小资料130
集成电路与光学仪器——小资料142