图书介绍
多弧离子镀Ti-Al-Zi-Gr-N系复合硬质膜PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 赵时璐著 著
- 出版社： 北京：冶金工业出版社
- ISBN：9787502462109
- 出版时间：2013
- 标注页数：228页
- 文件大小：83MB
- 文件页数：239页
- 主题词：金属覆层－离子镀－硬质膜
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多弧离子镀Ti-Al-Zi-Gr-N系复合硬质膜PDF格式电子书版下载
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图书目录
1硬质膜的研究进展1
1.1硬质膜概述1
1.2氮化物硬质膜的研究进展5
1.2.1单一金属氮化物膜5
1.2.2氮化物膜的多元化发展6
1.2.3多元氮化物膜的多层和梯度化设计10
2氮化物膜的应用现状12
2.1单一金属氮化物膜刀具12
2.2多元氮化物膜刀具13
2.3多元多层氮化物膜刀具15
2.4氮化物膜的其他应用16
3真空镀膜技术18
3.1真空镀膜技术概述18
3.2真空镀膜技术分类21
3.2.1真空蒸发镀技术21
3.2.2真空溅射镀技术22
3.2.3真空离子镀技术24
3.2.4束流沉积技术27
3.2.5化学气相沉积技术29
3.3多弧离子镀技术概述32
3.3.1离子镀技术发展32
3.3.2多弧离子镀技术特点32
3.3.3多弧离子镀技术原理33
4镀膜工艺参数与研究方法37
4.1多弧离子镀设备简介37
4.2实验材料38
4.2.1靶材的选择与制备38
4.2.2基材的选择与预处理39
4.3镀膜工艺参数的选择40
4.3.1基体负偏压40
4.3.2气体分压41
4.3.3弧电流强度41
4.3.4本底真空度42
4.3.5试样温度43
4.3.6试样转动速率43
4.3.7沉积时间43
4.3.8磁场44
4.4薄膜的表征方法44
4.4.1薄膜表面和断口形貌观察44
4.4.2薄膜成分分析44
4.4.3薄膜相结构分析45
4.4.4薄膜硬度测试45
4.4.5膜／基结合力测试45
4.4.6薄膜耐磨性能研究46
4.4.7薄膜抗高温氧化性能47
5 （Ti， Al，Zr，Cr）N多元单层膜的制备与微结构48
5.1（Ti， Al， Zr， Cr） N膜制备48
5.2（Ti， Al， Zr，Cr）N膜组织形貌49
5.2.1薄膜实物照片49
5.2.2薄膜表面形貌50
5.2.3薄膜表面粗糙度53
5.2.4薄膜断口形貌53
5.3（Ti， Al， Zr， Cr） N膜成分57
5.3.1薄膜表面成分57
5.3.2薄膜成分离析58
5.4 （Ti，Al，Zr，Cr）N膜相结构59
6 （Ti，Al，Zr，Cr）N多元单层膜的性能62
6.1 （Ti，Al，Zr，Cr）N膜硬度和膜/基结合力62
6.1.1薄膜硬度62
6.1.2膜／基结合力65
6.2 （Ti，Al，Zr，Cr）N膜耐磨性66
6.2.1薄膜摩擦系数曲线66
6.2.2薄膜磨损表面形貌72
6.3 （Ti，Al，Zr，Cr）N膜的高温氧化行为79
6.3.1薄膜短时高温氧化79
6.3.2薄膜长时高温循环氧化86
7 （Ti，Al，Zr）N/（Ti，Al，Zr，Cr）N多元双层膜的制备与微结构93
7.1（Ti， Al， Zr）N/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜制备93
7.2 （Ti，Al，Zr）N/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜断口形貌94
7.3（Ti， Al， Zr）N/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜成分97
7.3.1薄膜断面成分97
7.3.2薄膜表面成分100
7.4（Ti， Al， Zr）N/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜相结构101
8 （Ti，Al，Zr）N/（Ti，Al，Zr，Cr）N多元双层膜的性能104
8.1（Ti， Al， Zr）N/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜硬度和膜／基结合力104
8.1.1薄膜硬度104
8.1.2膜／基结合力105
8.2 （Ti，Al，Zr）N/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜耐磨性106
8.2.1薄膜摩擦系数曲线106
8.2.2薄膜磨损表面形貌112
8.3 （Ti，Al，Zr）N/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜的高温氧化行为119
8.3.1薄膜短时高温氧化119
8.3.2薄膜长时高温循环氧化125
9CrN/ （Ti， Al， Zr， Cr） N多元双层膜的制备与微结构133
9.1 CrN/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜制备133
9.2 CrN/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜断口形貌134
9.3 CrN/ （Ti ， Al， Zr ， Cr） N膜成分137
9.3.1薄膜断面成分137
9.3.2薄膜表面成分140
9.4 CrN/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜相结构141
10 CrN/（Ti，Al，Zr，Cr）N多元双层膜的性能143
10.1 CrN/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜硬度和膜／基结合力143
10.1.1薄膜硬度143
10.1.2膜／基结合力144
10.2 CrN/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜耐磨性145
10.2.1薄膜摩擦系数曲线145
10.2.2薄膜磨损表面形貌151
10.3 CrN/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜的高温氧化行为157
10.3.1薄膜短时高温氧化157
10.3.2薄膜长时高温循环氧化163
11 TiAlZrCr/ （Ti ， Al ， Zr ， Cr） N多元梯度膜的制备与微结构172
11.1 TiAlZrCr/ （Ti， Al， Zr， Cr） N膜制备172
11.2 TiAlZrCr/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜断口形貌173
11.3 TiAlZrCr/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜成分176
11.3.1薄膜断面成分176
11.3.2薄膜表面成分179
11.4 TiAlZrCr/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜相结构180
12 TiAlZrCr/ （Ti ， Al， Zr ， Cr） N多元梯度膜的性能183
12.1 TiAlZrCr/ （Ti ， Al ， Zr ， Cr） N膜硬度和膜／基结合力183
12.1.1薄膜硬度183
12.1.2膜／基结合力184
12.2 TiAlZrCr/ （Ti ， Al ， Zr ， Cr） N膜耐磨性185
12.2.1薄膜摩擦系数曲线185
12.2.2薄膜磨损表面形貌191
12.3 TiAlZrCr/（Ti，Al，Zr，Cr）N膜的高温氧化行为198
12.3.1薄膜短时高温氧化198
12.3.2薄膜长时高温循环氧化204
13结论与展望212
参考文献218