图书介绍
氧化锌薄膜材料PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 刘耀东著 著
- 出版社： 北京：国防工业出版社
- ISBN：9787118085365
- 出版时间：2013
- 标注页数：134页
- 文件大小：27MB
- 文件页数：145页
- 主题词：氧化锌－薄膜－工程材料
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图书目录
第一章 ZnO结构及性质1
1.1 引言1
1.2 ZnO薄膜的晶体结构2
1.3 ZnO薄膜的光电特性4
1.4 ZnO薄膜的发光机理5
1.5 ZnO薄膜的研究现状6
1.5.1 ZnO的掺杂特性和pn结的制作8
1.5.2 ZnO薄膜的应用前景10
1.6 ZnO薄膜的制备方法13
1.6.1 分子束外延13
1.6.2 金属有机物气相外延14
1.6.3 纯锌膜氧化法15
1.6.4 磁控溅射法15
1.6.5 脉冲激光沉积法17
1.6.6 溶胶—凝胶法19
1.6.7 喷雾热解法20
1.6.8 原子层外延法21
参考文献22
第二章 ZnO的掺杂特性28
2.1 引言28
2.2 ZnO的n型掺杂29
2.2.1 Al掺杂ZnO薄膜31
2.2.2 在有机基体上沉积ZnO:Al薄膜32
2.2.3 F掺杂ZnO薄膜32
2.2.4 Mn掺杂ZnO薄膜33
2.2.5 Ga掺杂ZnO薄膜33
2.3 ZnO的p型掺杂34
2.3.1 N掺杂ZnO薄膜42
2.3.2 P掺杂ZnO薄膜44
2.3.3 Ag掺杂ZnO薄膜45
2.4 微观组织、结构特性和发光性能的表征46
2.5 脉冲激光沉积法制备薄膜的工艺参数48
2.6 ZnO的N及Al、N共掺杂51
参考文献53
第三章 不同铝含量沉积ZnO:Al薄膜55
3.1 引言55
3.2 Al含量对ZnO:Al薄膜结构的影响56
3.3 Al含量对ZnO:Al薄膜发光性能的影响61
3.4 Al含量对ZnO:Al薄膜电学性能的影响63
3.5 基体温度对ZnO:Al薄膜结构特性和透光率的影响68
3.6 不同Al含量对ZnO:Al薄膜透光性能的影响70
3.7 基体温度对ZnO:Al薄膜发光性能的影响71
参考文献73
第四章 ZnO薄膜的低温沉积75
4.1 引言75
4.2 室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜结构的影响75
4.3 室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜可见光波段透光率的影响78
4.4 室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜PL谱的影响79
4.5 在有机基体上沉积ZnO:Al薄膜81
4.5.1 氧气压力对ZnO:Al薄膜结构特性的影响82
4.5.2 基体温度对ZnO:Al薄膜结构特性的影响84
4.5.3 有机基体上沉积ZnO:Al薄膜的发光性能86
参考文献89
第五章 N掺杂ZnO薄膜及Al、N共掺杂91
5.1 引言91
5.2 N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的结晶性能93
5.3 N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的发光性能97
5.4 N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的电学性能99
5.5 N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的XPS分析104
参考文献105
第六章 ZnO结型器件108
6.1 引言108
6.2 氧化锌同质pn结111
6.3 氧化锌异质pn结115
6.3.1 氧化锌与GaN异质结的能带结构117
6.3.2 ZnO/GaN异质结发光二极管118
参考文献123
第七章 ZnO薄膜的应用125
7.1 引言125
7.2 ZnO气敏元件125
7.3 ZnO透明导电薄膜126
7.4 ZnO薄膜晶体管129
7.5 ZnO发光器件130
7.6 ZnO光电导紫外探测器131
7.7 ZnO声表面波器件132
参考文献132