图书介绍
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- 姚军，汪为民编著 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：9787030321039
- 出版时间：2011
- 标注页数：216页
- 文件大小：50MB
- 文件页数：225页
- 主题词：微电子技术
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图书目录
第1章 微纳系统技术概述1
1.1 引言1
1.1.1 微纳系统的概念1
1.1.2 尺度效应2
1.1.3 微纳系统的研究领域6
1.2 研究现状9
1.3 发展前景11
1.4 本章小结11
参考文献12
第2章 微光学13
2.1 光学基础知识13
2.1.1 反射和折射定律13
2.1.2 光的干涉14
2.1.3 光的衍射16
2.2 微光学基本理论18
2.2.1 标量衍射理论18
2.2.2 矢量衍射理论20
2.3 微光学典型器件23
2.3.1 衍射光学器件23
2.3.2 亚波长光学元件28
2.3.3 微光学波导器件——纳米光纤34
2.3.4 自由空间微光学器件36
2.4 本章小结37
参考文献38
第3章 MEMS概述40
3.1 MEMS材料42
3.1.1 基片材料43
3.1.2 薄膜材料46
3.2 MEMS传感器50
3.2.1 物理传感器51
3.2.2 化学传感器61
3.2.3 生物传感器63
3.3 MEMS执行器66
3.3.1 静电执行器66
3.3.2 压电执行器71
3.3.3 电磁执行器75
3.3.4 电热执行器78
3.4 MEMS应用80
3.4.1 MEMS开关80
3.4.2 MEMS滤波器87
3.4.3 微陀螺仪93
3.5 本章小结96
参考文献97
第4章 MOEMS99
4.1 MOEMS概述99
4.1.1 研究领域99
4.1.2 研究进展99
4.2 光通信器件100
4.2.1 光源器件100
4.2.2 光开关100
4.2.3 VOA109
4.3 MOEMS显示器件111
4.3.1 DMD111
4.3.2 光栅光阀116
4.4 变形镜119
4.4.1 变形镜概述119
4.4.2 微机械薄膜变形镜123
4.4.3 表面微机械分立和连续镜面变形镜125
4.5 本章小结136
参考文献136
第5章 微细加工技术140
5.1 微细加工技术基础140
5.1.1 光刻140
5.1.2 沉积141
5.1.3 刻蚀144
5.2 表面微加工技术145
5.2.1 概述145
5.2.2 表面工艺中的主要问题及其解决办法147
5.2.3 实例解析152
5.3 其他微加工技术154
5.3.1 掺杂技术154
5.3.2 LIGA技术155
5.3.3 纳米加工技术156
5.3.4 封装技术158
5.4 本章小结160
参考文献161
第6章 NEMS概述163
6.1 概述163
6.1.1 NEMS的特点163
6.1.2 NEMS的制造技术165
6.1.3 NEMS的检测与表征167
6.2 NEMS器件167
6.2.1 谐振器167
6.2.2 悬臂梁生化传感器168
6.3 NEMS在微流体中的应用169
6.3.1 微流体特性169
6.3.2 微驱动171
6.3.3 微通道173
6.3.4 微泵174
6.3.5 微阀175
6.4 芯片实验室176
6.4.1 加工176
6.4.2 常用的检测技术178
6.4.3 生化单分子检测180
6.5 纳米传感器181
6.5.1 LSPR传感器181
6.5.2 光纤消逝场生化传感器182
6.5.3 平板波导生化传感器185
6.6 NEMS展望186
6.7 本章小结187
参考文献187
第7章 MEMS实例分析191
7.1 设计目标191
7.2 结构设计192
7.2.1 工作原理192
7.2.2 建立模型193
7.3 工艺设计194
7.4 参数优化198
7.4.1 物理模型分析198
7.4.2 工程力学分析199
7.4.3 计算机辅助工程分析199
7.4.4 参数优化实例201
7.5 器件加工206
7.5.1 版图绘制206
7.5.2 加工过程206
7.5.3 其他标准工艺207
7.6 样品测试207
7.6.1 MEMS测试概述207
7.6.2 样品测试实例208
7.7 封装与系统集成213
7.7.1 MEMS封装概述213
7.7.2 Sandia国家实验室变形镜的封装与集成213
7.8 本章小结215
参考文献216