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第一章 概述1

第一节 量仪分类1

一、机械量仪1

二、光学量仪1

三、气动量仪1

四、电动量仪1

目录1

第二节 量仪的基本结构2

第三节 量仪的光学系统4

一、显微系统4

二、望远系统5

四、干涉系统6

三、投影系统6

第四节 量仪基本度量技术指标7

一、通用技术指标7

二、准确度指标8

第五节 几何量仪器特性评定的依据和形式9

一、几何量仪器特性评定的依据9

二、几何量仪器特性评定的形式10

第二章 量仪几何形状和位置误差检定、校准12

第一节 量仪几何形状与位置误差评定的基本准则12

一、形状误差的评定准则12

二、位置误差评定准则13

一、自准直法15

第二节 典型仪器导轨直线度的检定、校准15

二、截距法16

三、测微表法19

四、扭摆误差校准19

五、直线度检定方法误差分析20

第三节 导轨运动的相互垂直度检定、校准21

一、影像法21

二、多齿分度台法22

三、立柱对工作台面的垂直度22

四、立式光学计类仪器测量轴线与仪器工作台面垂直度23

五、立式测长仪工作台面与测量轴线垂直度23

六、三坐标测量机坐标轴相互垂直度24

一、分度头主轴径向圆跳动25

第四节 仪器轴系检定、校准25

二、分度头主轴轴向圆跳动26

三、分度头主轴正反转360°回原位误差和回程误差26

四、主轴锁紧时引起的示值误差变化26

五、圆度仪主轴径向误差26

六、圆度仪多次测量时的重复性28

七、圆度仪轴向误差28

八、高精度测角仪主轴径向圆跳动28

九、光学经纬仪三轴间垂直度29

第五节 工作台的平行度及平面度检定、校准30

二、工具显微镜金属工作台与纵横滑板移动方向的平行度31

三、筋形工作台的平面度及中央筋的平面度、高出度31

一、多齿分度台任意位置啮合时工作台面与底平面的平行度31

四、三坐标测量机X,Y导轨运动平面与工作台表面的平行度32

第六节 顶尖、顶尖杆的检定、校准32

一、顶尖跳动32

二、两顶尖轴线的平行度检定33

三、工具显微镜两顶尖的重合性34

四、上下两顶尖的同轴度35

五、渐开线检查仪上下两顶尖联线对测量滑架运动的垂直度35

六、万能工具显微镜顶尖轴心线与测量面间距离36

七、工具显微镜顶尖中心连续与立柱回转中心重合性36

一、自准直仪38

二、经纬仪、水准仪调焦运行误差38

第七节 仪器光学系统视轴线的正确性检定38

第三章 几何量仪器示值误差检定、校准40

第一节 示值误差评定的方法和表示形式40

一、量仪示值误差的评定方法40

二、仪器示值误差的表示形式40

三、测量重复性的表示方法41

四、稳定性41

第二节 标准线纹尺比较法42

一、万能工具显微镜42

二、工具显微镜44

三、像点比较仪44

第三节 标准量块（激光干涉仪）比较法47

一、测长机47

二、坐标测量机校准49

三、数控装置位置误差检测60

第四节 标准量块组合法62

一、0.2μm光学计62

二、接触式干涉仪65

三、数显电感比较仪69

第五节 多面棱体比较法与排列互比法70

一、光学分度头（光学分度台）70

二、多齿分度台73

三、光学测角仪75

四、测微器示值误差检定81

第六节 标准小角度比较法84

一、自准直仪84

二、电子水平仪89

第七节 标准样板法90

一、光切显微镜与干涉显微镜90

二、触针式表面粗糙度测量仪器93

三、圆度、圆柱度仪97

四、渐开线检查仪99

五、平面等倾干涉仪102

六、球径仪103

第八节 标准装置法104

一、光学经纬仪104

二、水准仪112

三、测微准直望远镜116

一、测量重复性检定或校准118

第九节 仪器测量重复性和示值变动性检定、校准118

二、统计法120

三、示值变动性121

第四章 示值误差检定、校准的不确定度评定123

第一节 概述123

一、标准不确定度的A类评定123

二、标准不确定度B类评定123

三、合成标准不确定度的评定及灵敏系数124

第二节 万能工具显微镜124

一、概述124

二、测量原理与数学模型124

三、标准不确定度评定124

五、检定的扩展不确定度125

四、合成标准不确定度125

第三节 测长机126

一、概述126

二、测量原理和数学模型126

三、标准不确定度评定126

四、合成标准不确定度127

五、扩展不确定度127

第四节 0.2μm光学计128

一、概述128

二、测量原理和数学模型128

一、概述129

第五节 圆分度仪器129

五、扩展不确定度129

三、标准不确定度分量129

四、合成标准不确定度129

二、测量原理和数学模型130

三、标准不确定度评定130

四、合成标准不确定度131

五、扩展不确定度131

六、排列互比法不确定度评定131

第六节 坐标测量机133

一、概述133

二、测量原理和数学模型133

三、标准不确定度评定133

五、扩展不确定度135

四、合成标准不确定度135

第七节 圆度仪器136

一、概述136

二、测量原理和数学模型136

三、标准不确定度评定136

第八节 自准直仪137

一、概述137

二、测量原理和数学模型137

三、标准不确定度评定137

第九节 渐开线检查仪138

一、概述138

二、测量原理和数学模型138

三、标准不确定度分量计算139

第十节 干涉显微镜140

一、概述140

二、测量原理和数学模型140

三、标准不确定度分量140

第十一节 经纬仪141

一、概述141

二、测量原理及数学模型141

三、方差和灵敏系数142

四、检定一测回水平方向标准偏差标准不确定度评定142

三、标准不确定度评定144

二、测量原理及数学模型144

一、概述144

第十二节 水准仪144

四、合成标准不确定度145

五、扩展不确定度145

第五章 定型鉴定和样机试验146

第一节 定型鉴定和样机试验的定义146

一、定型鉴定146

二、型式批准146

三、样机实验146

第二节 计量器具型式评价大纲的制订147

一、型式评价大纲的构成147

二、计量器具型式评价样机试验大纲编制147

第二节 光学瞄准系统155

第一节 瞄准系统及瞄准误差155

第六章 瞄准系统及测微目镜检定、校准155

第三节 物镜系统156

一、物镜分辨力156

二、物镜的场曲157

第四节 测微目镜158

第七章 检定仪器标准器组162

第一节 检定仪器标准器组的设计162

第二节 检定仪器标准器组种类及应用163

第三节 检定仪器标准器检定、校准165

一、检定直尺165

二、刀口直角尺167

四、方块角尺168

三、十字线校对杆168

五、锥体心轴170

六、标准心轴170

七、玻璃比例尺170

八、专用标准玻璃线纹尺171

九、刻线样板172

第四节 标准装置检定173

一、经纬仪标准装置173

二、水准仪标准装置177

附录1量块标称长度测量不确定度与长度变动量182

附录2有关量仪的检定规程和校准规范目录183

参考文献185