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第一章 前言1

第二章 原理5

2.1 X射线显微分析仪的基本特点与结构5

2.1.1 X射线显微分析仪的特点5

2.1.2 X射线显微分析仪的基本结构13

2.2 电子与物质的相互作用14

2.2.1 电子与物质相互作用的梗概15

2.2.2 X射线的产生与X射线的特性19

2.2.3 各种电子及其信息27

2.2.4 信息源的大小33

2.2.5 电子束照射点的温度上升37

2.3 X射线的色散38

2.3.1 波长色散法39

2.3.2 能量色散法41

第三章 仪器43

3.1 电子光学系统43

3.1.1 电子枪43

3.1.2 电子透镜47

3.1.3 消像散装置50

3.2 光学观察系统54

3.3 样品室55

3.4 X射线分光谱仪系统56

3.4.1 X射线分光谱仪的构造56

3.4.2 分光晶体57

3.4.3 探测器61

3.4.4 X射线分光谱仪的性能63

3.4.5 软X射线色散中的注意事项66

3.4.6 X射线的测量装置68

3.5 电子束扫描系统70

3.5.1 二次电子像71

3.5.2 背散射电子像74

3.5.3 吸收电子像76

3.5.4 透射电子像78

3.5.5 X射线像80

3.6.1 加热装置84

3.6 附属装置84

3.6.2 电视(TV)扫描装置87

3.6.3 寇塞尔相机89

第四章 样品91

4.1 样品的制备方法91

4.1.1 样品的大小91

4.1.2 样品表面的凹凸研磨92

4.1.3 样品表面凹凸引起的X射线强度变化94

4.1.4 腐蚀引起的样品表面变化95

4.1.5 样品的导电性与喷镀96

4.1.6 粉末样品及薄膜样品的制备97

4.1.7 特殊样品98

4.2.1 标准样品与测量背底所用样品的选择99

4.2 标准样品99

4.2.2 合成样品的制备100

第五章 测量101

5.1 测量前的调研与测量准备101

5.2 定性分析102

5.2.1 定性分析方法102

5.2.2 峰背(L-B)比与探测极限106

5.3 定量分析109

5.3.1 加速电压的选择109

5.3.2 入射电流(吸收电流)与计数时间的选择112

5.3.3 对多种元素同时进行分析时存在的问题120

5.4.1 点分析122

5.4 测量区域与分析方法122

5.4.2 线分析123

5.4.3 面分析127

第六章 修正130

6.1 修正的物理基础131

6.1.1 入射电子的穿透及散射过程134

6.1.2 X射线的产生过程139

6.1.3 X射线的吸收过程与荧光激发154

6.1.4 f(x)函数162

6.2 修正方法165

6.2.1 原子序数修正与吸收修正的关系166

6.2.2 原子序数修正167

6.2.3 吸收修正171

6.2.4 荧光(激发)修正173

6.3 修正计算举例179

6.3.1 原子序数修正系数180

6.3.2 吸收修正系数181

6.3.3 荧光(激发)修正系数183

6.3.4 总的修正系数及修正值186

6.3.5 实际应用中修正系数的求法186

6.4 修正系数随测量条件及样品成分而发生的变化187

6.4.1 原子序数修正系数Gz的变化187

6.4.2 吸收修正系数GAb的变化188

6.4.3 荧光(激发)修正系数GF的变化189

6.5 利用电子计算机进行修正计算190

第七章 应用192

参考文献196

参考图书201

附表1 元素名称、原子序数、原子量、密度202

附表2 特征X射线与吸收边及其激发电压206

附表3 质量吸收系数212

附表4 轻元素特征X射线的质量吸收系数234

附表5 吸收边短波长一侧的质量吸收系数236

附表6 强度函数240

附表7 J(A)值245

附表8 激发效率247

附表9 cosecφ值249

附表10 汤姆逊一惠丁顿公式〔式(5.5)〕中的常数随加速电压(Vo)的变化250