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第1章 总论——超精密加工的必要性与界限·其理论考察1

1.1 前言1

1.2 陶瓷的加工技术3

1.3 加工的界限与其理论考察5

第2章 陶瓷的微细构造与物性8

2.1 前言8

2.2 金属材料的微细构造与物性9

2.3 陶瓷材料的微细构造与物性10

2.4 结晶的微细构造15

第3章 瓷的制造技术16

3.1 原料粉末的特性16

3.2 单结晶18

3.2.1 单结晶的育成18

3.2.2 单结晶的应用23

3.3 成形与烧结28

3.3.1 加压成形30

3.3.2 辊轧成形32

3.3.3 挤压成形32

3.3.4 印刷法33

3.3.5 板成形34

3.3.6 烧成36

3.4 熔融与凝固37

3.4.1 铸造与一方向凝固37

3.4.2 一方向凝固法38

3.4.3 熔融组成一致的场合39

3.4.4 共晶组成的场合41

3.5.2 改善显微镜微视构造的热间加工43

3.5.1 改善致密化的热间加工43

3.5 热间加工43

第4章 精密加工技术的基础48

4.1 陶瓷加工的特色48

4.2 决定加工精度的要因51

4.3 刚性53

4.4 热变形56

4.5 工具摩耗59

4.6 加工变质层61

4.7 加工环境65

4.8 设计与精密加工68

第5章 陶瓷的精密加工技术70

5.1 精密成形70

5.1.1 陶瓷材料的设计70

5.1.2 膜状陶瓷用原料粉末的调制71

5.1.3 铝alkoxide的加水分解73

5.1.4 sol溶液的调制75

5.1.5 陶瓷薄膜的制造法77

5.1.6 陶瓷的精密成形系统79

5.2 机械加工80

5.2.1 研磨81

5.2.5 搪磨、超细加工85

5.2.3 砂布砂纸加工86

5.2.4 抹磨87

5.2.5 抛光88

5.2.6 滚桶加工90

5.2.7 超音波加工91

5.2.8 喷射加工92

5.2.9 用刀具的加工92

5.2.10 切断法93

5.2.11 开孔法94

5.2.12 超精密加工技术的进步94

5.3 化学加工96

5.3.1 腐蚀96

5.3.2 光腐蚀101

5.3.3 接着·接合106

5.4 电气加工108

5.4.1 放电加工108

5.4.2 电子束加工110

5.4.3 离子加工112

5.4.4 雷射加工114

5.4.5 微波加工117

5.4.6 电解研磨118

5.5 表面处理118

5.5.1 涂覆119

5.5.2 蒸着120

5.5.3 溅散法121

5.5.4 有机薄膜122

6.1 结晶方位的决定法126

6.1.1 用X光方法决定方位126

第6章 陶瓷方位、形状的精密测定126

6.1.2 用光学方法决定方位128

6.2 形状精度的测定法129

6.2.1 表面粗糙度的测定法130

6.2.2 平面度的测定132

6.2.3 陶瓷筒管加工的测定法135

6.2.4 磁头的形状加工与测定137

6.3 加工所致的特性变化例141

6.3.1 ferrite的导磁系数变化141

6.3.2 矽晶片的积层缺陷144

第7章 超精密加工实例146

7.1 玻璃146

7.1.1 球（平）面透镜146

7.1.2 非球面透镜148

7.1.3 超精密平面光学元件151

7.2 卤化碱153

7.2.1 一般制作方法153

7.2.2 最近的倾向154

7.3.1 研削与切断155

7.3 蓝宝石155

7.3.2 抹磨156

7.3.3 抛光157

7.3.4 应用例159

7.4 水晶161

7.4.1 加工变质层的影响161

7.4.2 高精度的加工162

7.4.3 薄片的两面同时加工165

7.5 矽166

7.5.2 照相制版167

7.5.1 矽积体电路167

7.5.3 腐蚀171

7.5.4 电浆腐蚀173

7.5.5 反应性离子腐蚀176

7.6 Mn-Zn ferrite179

7.6.1 用曲率法测定加工变质层180

7.6.2 加工对磁气特性的影响181

7.6.3 录影头的加工工程183

7.7.1 超精密钻石刮子184

7.7 钻石184

7.7.2 Rockwell压子186

7.7.3 钻石眼模187

7.8 GaAs188

7.8.1 单结晶制程190

7.8.2 表面加工法191

7.8.3 晶膜成长法192

7.9 LiNbO3194

7.9.1 LiNbO3的特性与应用194

7.9.2 LiNLO3的精密加工195

7.10 Gd3Ga5O12（GGG）199

7.10.1 切断加工200

7.10.2 抹磨200

7.10.3 细研磨201

7.10.4 表面检查202

7.11 碳、石墨203

7.11.1 碳与石墨的超精密加工203

7.11.2 放电加工用电极与石墨工模204

7.11.3 石墨电极用螺纹接管204

7.11.4 玻璃状碳205

7.11.5 高配向性石墨206

7.12 氧化铝陶瓷206

7.12.1 氧化铝陶瓷的生加工法207

7.12.2 氧化铝陶瓷的後加工法213

7.13 超硬工具216

7.13.1 超硬工具材料216

7.13.2 超硬工具的用途与主要加工方法216

7.13.3 超硬制品的加工例218

7.14.2 陶瓷用为机械材料的期望和要求特性221

7.14.1 各种非氧化物陶瓷221

7.14 非氧化物221

7.14.3 Si3N4 SiC的合成法223

7.14.4 Si3N4、SiC陶瓷的制造加工法224

7.14.5 零件化时的注意事项228

7.14.6 非氧化物陶瓷对高温机械零件的应用229

第8章 超精密加工的展开231

8.1 超精密加工的社会背景231

8.2 超精密加工的工学背景233

8.3 技能与科学技术234

8.4 超精密加工的精神要素235