图书介绍
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- （美）穆罕默德（Mohamed Gad-el-Hak）主编；赵永梅，段瑞飞，季安译 著
- 出版社： 北京：机械工业出版社
- ISBN：9787111557333
- 出版时间：2017
- 标注页数：394页
- 文件大小：196MB
- 文件页数：409页
- 主题词：微电机
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图书目录
第1章 绪论1
参考文献4
第2章 微机械器件的尺度6
2.1 简介6
2.2 对数坐标图7
2.3 机械系统的尺度8
参考文献13
第3章 MEMS常用材料的力学性能14
3.1 简介14
3.2 力学性能的定义15
3.3 测试方法17
3.4 力学性能参数27
3.5 初始设计值34
致谢35
参考文献35
第4章 流体物理学44
4.1 简介44
4.2 流体物理学45
4.3 流体建模46
4.4 纳维-斯托克斯方程49
4.5 可压缩性51
4.6 边界条件54
4.7 基于分子的模型59
4.8 液态流体64
4.9 表面现象69
4.10 结束语72
参考文献73
第5章 MEMS综合仿真：流动-结构-热场-电场耦合77
5.1 简介78
5.2 电路-器件耦合仿真82
5.3 模拟器概述83
5.4 电路-微流体器件仿真89
5.5 集成模拟方法示范93
5.6 小结与讨论95
致谢95
参考文献95
第6章 基于分子的微流体仿真模型99
6.1 简介99
6.2 气体流动100
6.3 液体和稠密气体的流动116
6.4 小结118
参考文献119
第7章 小尺度内部气流的流体动力学124
7.1 简介124
7.2 流动物理学125
7.3 模拟方法的发展138
7.4 讨论143
致谢143
参考文献144
第8章 微器件流体的伯内特模拟148
8.1 简介148
8.2 伯内特方程的历史151
8.3 控制方程153
8.4 壁-边界条件157
8.5 伯内特方程的线性化稳定性分析157
8.6 数值方法159
8.7 数值模拟159
8.8 小结169
参考文献169
第9章 微通道中滑移流动的晶格玻尔兹曼模拟173
9.1 简介173
9.2 三维可压缩黏性MHD方程174
9.3 LBGK方程和MHD方程的平衡粒子分布函数f 0 i175
9.4 LBGK方程和磁感应方程的平衡粒子分布函数g （0） i175
9.5 粒子分布函数的耦合LBGK方程解176
9.6 有／无磁场的微通道压力驱动滑移流体176
9.7 小结180
致谢180
参考文献180
第10章 微通道中的液体流动182
10.1 简介183
10.2 电动学背景知识197
10.3 小结213
参考文献214
第11章 MEMS的润滑223
11.1 简介224
11.2 基本尺度问题224
11.3 润滑的控制方程226
11.4 库爱特流阻尼227
11.5 挤压薄膜阻尼228
11.6 转动器件的润滑230
11.7 MEMS轴承几何形状的限制231
11.8 推力轴承232
11.9 滑动轴承234
11.10 制造问题239
11.11 摩擦和磨损241
11.12 小结242
致谢242
参考文献243
第12章 液体薄膜物理学245
12.1 简介245
12.2 固体表面液态膜的演化方程252
12.3 等温薄膜256
12.4 热效应269
12.5 相变：汽化和凝结275
12.6 结束语281
致谢282
参考文献282
第13章 微通道中气泡／液滴的输运289
13.1 简介289
13.2 基础290
13.3 压力驱动气泡／液滴输运的布雷瑟顿问题291
13.4 电动流气泡输运295
13.5 未来方向297
致谢298
参考文献298
第14章 控制理论基础300
14.1 简介300
14.2 经典线性控制301
14.3 “现代”控制311
14.4 非线性控制316
14.5 结束语322
参考文献322
第15章 基于模型的分布式架构流动控制325
15.1 简介326
15.2 线性化：小街区的生活327
15.3 线性稳定：向现代线性控制理论借力329
15.4 分散：大规模列阵设计336
15.5 局域化：非物理假设释放338
15.6 补偿器缩减：消除不必要的复杂性340
15.7 推论：非线性系统的线性控制342
15.8 泛化：扩展到空间发展流动344
15.9 非线性优化：完全纳维-斯托克斯方程的局域解346
15.10 鲁棒性：Murphy定律的吸引力353
15.11 统一：合成通用框架354
15.12 分解：基于仿真的系统建模355
15.13 全局稳定：守恒增强稳定性355
15.14 适用：考虑不断变化的环境356
15.15 性能限制：确定理想控制目标357
15.16 实施：评估工程化折中357
15.17 讨论：对话的共同语言358
15.18 未来：文艺复兴359
致谢361
参考文献361
第16章 控制中的软计算364
16.1 简介364
16.2 人工神经网络365
16.3 遗传算法373
16.4 模糊逻辑与模糊控制377
16.5 小结386
致谢386
参考文献386
附录391
附录一 国际单位制词头（SI词头）391
附录二 本书缩略语391