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第1章 大气及理想气体定律1

1.1 大气1

1.1.1 标准状态、标准大气压1

1.1.2 大气的性质1

1.2 理想气体的物理特性3

1.2.1 理想气体压力、质量和密度3

1.2.2 气体分子热运动速度3

1.2.3 气体分子平均自由程4

1.2.4 气体分子之间的碰撞5

1.2.5 气体分子单位时间单位面积上的碰撞数（入射频率）5

1.2.6 气体常数R、k的单位换算6

1.3 气体的性能参数6

1.3.1 气体的热导率6

1.3.2 气体的热适应系数7

1.3.3 气体的黏滞性8

1.3.4 气体的扩散8

1.4 真空中气固界面现象9

1.4.1 气体的吸附与解吸9

1.4.2 气体在固体中的扩散、渗透13

1.5 低压下气体的电现象15

1.5.1 气体的电离15

1.5.2 荷能粒子的溅射15

1.5.3 热电子发射17

1.5.4 气体放电的伏-安特性18

1.5.5 巴耶定律19

1.5.6 辉光放电20

第2章 真空管道、挡板流导23

2.1 气体流动状态的判别23

2.2 气体流量、管道流导23

2.2.1 气体流量、管道流导及流导的串并联23

2.2.2 不同气体之间管道流导换算关系24

2.2.3 黏滞流、分子流态，各种气体的流导和空气流导的关系24

2.3 孔和管道流导24

2.3.1 黏滞流、分子流圆孔的流导24

2.3.2 黏滞流、分子流圆截面管道流导25

2.3.3 传输概率——克劳辛系数25

2.3.4 弯管的流导26

2.3.5 其他各种截面形状长管道的流导26

2.4 挡板流导28

2.4.1 分子流挡板的传输概率28

2.4.2 各种挡板的传输概率和比流导29

第3章 真空元件性能参数31

3.1 真空泵31

3.1.1 各种真空泵工作压力范围31

3.1.2 真空泵型号编制方法31

3.1.3 往复式真空泵型号及其基本参数33

3.1.4 爪型干式真空泵基本参数34

3.1.5 水环式真空泵基本参数34

3.1.6 油封旋转机械真空泵型式与基本参数35

3.1.7 水蒸气喷射泵型式与基本参数36

3.1.8 罗茨真空泵型号与基本参数39

3.1.9 油扩散泵、油扩散喷射泵基本参数39

3.1.10 立式涡轮分子泵基本参数41

3.1.11 溅射离子泵型号与基本参数42

3.2 真空阀门43

3.2.1 真空阀门编制、型式与基本参数43

3.2.2 高真空插板阀型式与基本参数44

3.2.3 高真空挡板阀型式与基本参数44

3.2.4 高真空蝶阀型式与基本参数46

3.2.5 高真空电磁阀型式与基本参数47

3.2.6 低真空电磁带充气阀型式与基本参数48

3.2.7 低真空电磁压差充气阀型式与基本参数49

3.3 真空法兰50

3.3.1 橡胶密封真空法兰50

3.3.2 金属密封法兰70

3.3.3 国产超高真空CF法兰型式及尺寸77

3.4 真空管路、真空规管接头79

3.4.1 真空管路配件装配尺寸79

3.4.2 真空管道密封接头80

3.4.3 真空规管接头82

第4章 真空测量、真空检漏86

4.1 真空测量86

4.1.1 真空计性能一览表86

4.1.2 静态变形真空计87

4.1.3 热传导真空计87

4.1.4 电离真空计90

4.1.5 其他种类真空计92

4.2 分压力测量（四极质谱计）93

4.2.1 四极质谱计性能参数93

4.2.2 质谱计常用数据94

4.3 真空检漏101

4.3.1 各种检漏方法一览表101

4.3.2 常用检漏方法及仪器参数102

第5章 真空容器设计106

5.1 真空容器壳体设计106

5.1.1 圆筒、锥表、球形壳体容器壁厚设计106

5.1.2 钢制压力容器用封头标准112

5.1.3 封头内表面积、容积及质量计算公式116

5.1.4 封头内表面积、容积、质量数据118

5.2 真空抽气系统设计131

5.2.1 真空抽气系统设计的主要参数131

5.2.2 选泵及配泵133

5.3 真空抽气机组136

5.3.1 扩散泵抽气机组136

5.3.2 罗茨真空泵机组139

第6章 真空技术常用材料147

6.1 真空常用材料出气速率147

6.1.1 金属材料的出气速率147

6.1.2 有机材料的出气速率153

6.1.3 无机材料的出气速率155

6.2 材料的气体渗透、吸附性能156

6.2.1 材料的渗透系数156

6.2.2 物理吸附剂材料160

6.2.3 化学吸气剂材料167

6.3 材料的蒸气压168

6.3.1 单质物质的蒸气压168

6.3.2 氟利昂的饱和蒸气压170

6.3.3 气体的饱和蒸气压170

6.3.4 无机化合物的蒸气压171

6.3.5 有机溶剂的蒸气压172

6.3.6 高温材料的蒸气压173

6.3.7 塑料、橡胶的蒸气压173

6.3.8 冰、水的蒸气压174

6.4 真空用橡胶材料174

6.4.1 橡胶的物理力学性能174

6.4.2 橡胶永久变形与硬度、温度的关系175

6.4.3 橡胶的渗透系数175

6.4.4 橡胶的真空质损率176

6.4.5 氟橡胶性能176

6.4.6 真空橡胶管、胶棒尺寸规格178

6.5 真空油、脂及封蜡178

6.5.1 机械真空泵油质量标准178

6.5.2 高真空泵油的性能181

6.5.3 真空脂的性能182

6.5.4 真空油、脂的饱和蒸气压183

6.6 真空工程常用材料性能185

6.6.1 常用材料的物理性能185

6.6.2 黑色金属材料性能186

6.6.3 有色金属材料性能191

6.6.4 玻璃、石英和陶瓷材料性能199

6.6.5 石墨、云母材料性能202

6.6.6 塑料材料性能204

6.6.7 高温真空装置材料性能209

6.7 低温工程材料213

6.7.1 低温工质的热物理性质213

6.7.2 液态空气的物理性质215

6.7.3 液态氮的物理性质216

6.7.4 液态氧的物理性质218

6.7.5 液态氢的低温性能220

6.7.6 液态氦的物理性能222

6.7.7 液化气体在低压下的饱和温度224

6.7.8 低温用绝热材料性能224

6.7.9 材料的低温物理性能227

6.7.10 低温容器预冷参数230

6.7.11 低温容器231

第7章 常用数据235

7.1 基本物理常数235

7.2 常用计量单位换算237

7.2.1 SI基本单位及SI司头237

7.2.2 常用长度、面积、体积、质量单位的换算238

7.2.3 力、能单位换算240

7.2.4 热力学单位换算242

7.2.5 黏度单位换算244

7.2.6 气体抽速、流量单位换算244

7.2.7 气体常数、玻耳兹曼常数换算245

7.2.8 电磁单位换算245

7.3 物质的吸附热、活化能246

7.4 气体的物理性质247

7.5 低温气体性能254

7.6 物质的蒸气压257

7.7 液化气体的性质258

7.8 常用电阻材料性能259

7.9 无机物、有机物特性259

7.10 高熔点陶瓷性能262

7.11 高熔点材料的性能264

7.12 熔点以上金属的性能264

7.13 电真空材料性能269

7.13.1 钨钽阴极材料的性质269

7.13.2 电子器件常用材料退火温度269

7.13.3 电子器件常用材料烧氢温度270

7.13.4 几种金属材料电子发射参数270

7.13.5 热阴极饱和电流密度270

7.13.6 金属材料的逸出功271

7.13.7 真空中加热电流、电压与钨丝直径关系271

7.13.8 热阴极材料的热阴极电子发射密度271

7.14 可伐合金的物理性能274

7.15 贵金属电阻材料的性能274

7.16 常用材料的介电常数274

7.17 常用材料摩擦系数275

7.17.1 固体润滑材料摩擦系数和磨损率275

7.17.2 材料的滑动摩擦系数275

7.17.3 材料的滚动摩擦系数276

7.18 固体润滑材料特性277

7.19 金属基复合材料性质277

7.20 黏结固体润滑材料特性277

7.21 表面分析仪278

7.22 真空镀膜279

7.23 液态合金配制288

7.24 真空零部件的电化学抛光288

7.25 常用清洗溶剂的性质288

7.26 真空技术中的有害物质288

7.27 各种气体（蒸气）在空气中最大允许浓度、爆炸范围和自燃点289

7.28 元素周期表290

第8章 真空装置热计算基础292

8.1 固体的热传导292

8.1.1 各种类型热传导简图及热量计算公式292

8.1.2 金属材料热导率294

8.1.3 非金属材料热导率296

8.1.4 保温材料的热导率297

8.2 气体分子热传导299

8.3 辐射换热301

8.3.1 一个表面被另一个表面全包围辐射换热301

8.3.2 两平行表面之间辐射换热301

8.3.3 两个表面之间置入n块辐射屏302

8.3.4 各种材料的辐射率302

8.4 辐射换热角系数及其基本特性308

8.4.1 辐射换热角系数概念308

8.4.2 辐射换热角系数基本特性309

8.4.3 微元面对有限面的角系数310

8.4.4 有限面对有限面的角系数313

8.5 对流换热318

8.5.1 计算传热系数所用无量纲数318

8.5.2 传热系数计算基本公式319

8.5.3 管内受迫流动换热关联式321

8.5.4 外掠单管换热关联式322

8.5.5 外掠管束322

8.5.6 热计算用的气体及液体物理性质323

8.5.7 流体沿平板及圆板自然对流与强迫对流时传热系数计算326

8.5.8 空气中自然对流传热系数326

8.6 真空绝热327

8.6.1 高真空绝热327

8.6.2 真空多孔绝热327

8.6.3 高真空多层绝热329

参考文献330