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第一章 X射线衍射的动力学理论1

1.1 引言1

1.2 晶体中的波动方程3

1.3 波动方程的平面波解5

1.4 双光束近似与色散面7

1.5 双光束的波场10

1.6 吸收，Borrmann效应与坡印廷矢量17

1.7 动力学衍射的普遍理论——高木方程组21

1.8 用Riemann函数求解满足高木方程的波场26

1.9 射线光学理论30

1.10 量子理论34

参考文献35

第二章 X射线衍衬成象理论37

2.1 电子射线与X射线衍衬象的对比37

2.2 完整晶体的衍衬成象分析42

2.3 晶体中层错的X射线衍衬象分析55

2.4 其它面缺陷的X射线衍衬象分析63

2.5 晶体具有等应变梯度时的衍衬象分析71

2.6 晶体中位错的X射线衍衬象分析79

参考文献92

附录A 布喇格情况下的衍射振幅与强度分布的推导93

附录B 多色辐射的X射线积分强度表达式97

附录C 在有USG晶体中位移场二次式中A、B、C的形式99

附录D 关于合流超几何函数及其渐近表达式100

第三章 X射线衍衬貌相学的实验技术103

3.1 X射线貌相术的衍射几何和分类103

3.2 X射线衍衬貌相学的主要实验方法104

3.3 衍衬象的分辨率问题129

3.4 X射线貌相术的各种改进型式138

3.5 实验技术151

参考文献155

第四章 X射线双晶衍射仪158

4.1 X射线双晶衍射仪的几何原理158

4.2 双晶衍射仪的反射能力和反射系数163

4.3 完整晶体和不完整晶体的积分反射166

4.4 双晶反射及摆动曲线的半峰宽168

4.5 晶体中动力学波场的示证173

4.6 双晶衍射仪的构造及调试176

4.7 双晶貌相术179

4.8 晶体中应变及弯曲的双晶衍射仪测量方法182

4.9 点阵常数精确测定的双晶衍射仪方法194

参考文献198

第五章 X射线干涉仪200

5.1 X射线干涉仪的原理200

5.2 X射线干涉仪的型式203

5.3 X射线三晶干涉仪中波场的传播206

5.4 X射线干涉仪的应用209

参考文献212

第六章 貌相图中缺陷象的分析214

6.1 引言214

6.2 点缺陷——微缺陷216

6.3 线缺陷——位错217

6.4 面缺陷——二维缺陷233

6.5 体缺陷——三维缺陷248

参考文献253

第七章 在半导体晶体和器件工艺中的应用255

7.1 引言255

7.2 近完整半导体单晶生长过程的观察与分析256

7.3 无位错单晶中的微缺陷261

7.4 硅单晶中的氢致缺陷267

7.5 杂质的沉淀和偏析270

7.6 在晶片切磨抛工艺中的应用275

7.7 晶片弯曲度的测量277

7.8 器件工艺诱生缺陷的观察和器件质量的控制281

7.9 在外延工艺中的应用286

7.10 扩散的双晶摆动曲线研究290

7.11 多晶隔离的检查295

7.12 晶片表面薄膜引起的应变296

7.13 离子注入的研究298

参考文献304

第八章 在其它晶体研究中的应用307

8.1 引言307

8.2 氟化锂（LiF）光学晶体307

8.3 铁硅合金（Fe-Si）及其它金属晶体308

8.4 铌酸锂（LiNbO3）和其它氧化物铁电体单晶312

8.5 钆镓石榴石（GGG）基片及其外延薄膜316

8.6 钇铝石榴石（YAG）晶体319

8.7 磷酸二氢钾（KDP）和D-KDP晶体321

8.8 水晶（α-石英）和α-碘酸锂（α-LiIO3）晶体327

8.9 钇铁石榴石（YIG），铽铁石榴石（TbIG）和其它熔盐法生长的晶体339

8.10 金刚石342

8.11 有机晶体347

参考文献349

附录（一） 常见的人工晶体和天然晶体的质量吸收系数和临界穿透行程352

附录（二） 几种常用晶体的布喇格角θB（度）355

附录（三） 核乳胶底板的处理方法361

索引362