图书介绍
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- 刘作桐主编 著
- 出版社： 南京：东南大学出版社
- ISBN：7810233238
- 出版时间：1991
- 标注页数：191页
- 文件大小：10MB
- 文件页数：198页
- 主题词：
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图书目录
目录1
绪言1
第一章 真空技术的物理基础4
§1-1 气体分子运动论概要4
§1-2 低压下气体沿导管的流动及流导计算10
§1-3 气体分子与固体表面的相互作用20
§1-4 抽气过程的理论基础24
第二章 真空获得设备27
§2-1 概述27
§2-2 油封机械真空泵29
§2-3 油扩散泵41
§2-4 涡轮分子泵52
§2-5 分子筛吸附泵58
§2-6 热钛泵63
§2-7 溅射离子泵68
§2-8 低温泵73
第三章 真空测量81
§3-1 概述81
§3-2 压缩式真空计83
§3-3 热偶真空计85
§3-4 普通热阴极电离真空计87
§3-5 中量程真空计92
§3-6 超高真空电离计93
§3-7 冷阴极磁控电离计96
§3-8 分压强测量98
第四章 真空系统的组成102
§4-1 真空阀门102
§4-2 捕集器（阱）112
§4-3 真空密封与连接119
第五章 真空系统的设计与计算144
§5-1 真空系统的基本要求及其形式144
§5-2 真空系统的设计与计算151
§5-3 真空中常用材料及选择157
§5-4 真空系统的安装与调试163
第六章 真空检漏166
§6-1 真空检漏方法167
§6-2 氦质谱检漏168
第七章 典型真空应用设备174
§7-1 圆排设备174
§7-2 离子镀膜设备180
复习题186
附录 致冷机致冷原理简述187
参考资料191